随着半导体器件的尺寸不断缩小,污染控制变得比以往任何时候都更关键。过去被认为无关紧要的颗粒,如今可能影响器件性能、工艺稳定性乃至制造良率。在污染物真正到达晶圆之前就把它检测出来,正成为维持质量与减少昂

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