薄膜是一类层状结构,厚度从单个原子或分子单层到数微米不等。这类结构既能自然形成——例如铝表面自发生成的氧化层可阻止进一步氧化——也被有意沉积,广泛应用于各类工程领域。如何无损、精确地测量其厚度,是现代

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