T/CCGA 30001—2019
超纯氨

Ultra pure ammonia

说明：

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T/CCGA 30001—2019

标准号
T/CCGA 30001—2019
发布日期
2019年10月29日
实施日期
2019年11月13日
废止日期
无
中国标准分类号
C266
国际标准分类号
71.100.20
发布单位
中国团体标准
适用范围
本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。


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